真空機(jī)組在氣缸與機(jī)體之間加設(shè)隔油腔（其長度大于一個(gè)行程長度），阻撓機(jī)體內(nèi)潤滑油沿活塞桿漏人氣缸，所以該泵對被抽體系，無油往復(fù)真空泵有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)，真空泵的工作原理如圖所示，首要部件是氣缸1及在其間做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞。

活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿3來完結(jié)的，除上述首要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5.工作時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，因?yàn)闅飧椎淖笄惑w積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小。

而構(gòu)成抽氣過程，此刻容器中的氣體通過吸氣閥5進(jìn)人泵體左腔，當(dāng)活塞到達(dá)右方位時(shí)，氣缸內(nèi)就完全充滿了氣體，接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此刻吸氣閥5封閉，氣缸內(nèi)的氣體跟著活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐步被緊縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓強(qiáng)到達(dá)或稍大于大氣壓時(shí)，排氣閥4被翻開，將氣體排到大氣中，完結(jié)一個(gè)工作循環(huán)，當(dāng)活塞再自左向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，又吸進(jìn)一部分氣體，重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去。直到被抽容器內(nèi)到達(dá)某一安穩(wěn)的平衡壓力停止。