隨著真空技術(shù)在工業(yè)生產(chǎn)、國防***及科學(xué)研究等各個(gè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，工業(yè)上也相繼出現(xiàn)了各種各樣的真空獲得設(shè)備，也稱真空泵。一般其可以定義為通過恰當(dāng)方式在語氣相連通的封閉空間內(nèi)產(chǎn)生、改善并保持真空狀態(tài)的裝置。伴隨著真空技術(shù)應(yīng)用的快速發(fā)展，真空獲得設(shè)備的工作原理、外形樣式、應(yīng)用環(huán)境等都已經(jīng)發(fā)展的多種多樣，例如泵的抽速范圍已經(jīng)從每秒零點(diǎn)幾升值每秒幾十萬、數(shù)百萬升。依據(jù)工作原理不同，可以將真空泵分為兩大類型:氣體輸送泵和氣體捕集泵。其中，氣體輸送泵包括:液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)、往復(fù)式真空泵、旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵、干式真空泵、羅茨真空泵、分子真空泵、牽引分子泵、復(fù)合式真空泵、水噴射真空泵、氣體噴射泵、蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵等。氣體捕集泵主要包括:吸附泵和低溫泵等。