低中真空獲得設備的抽氣范圍約為10的5次方10的-1次方Pa，其主要特點是抽氣速率較低，排氣量大，工作壓力高。低真空獲得設備主要應用在真空干燥、真空浸漬、真空輸送和真空過濾等裝置中。經常使用的真空泵有羅茨泵、水環(huán)泵、油封機械泵、往復式真空泵、大氣噴射泵、水蒸氣噴射泵、分子篩吸附泵等。這些泵中大部分可以單獨使用，但是有些泵不能直接排氣到大氣中，需要配有前級泵，比如羅茨泵和油蒸汽噴射泵。

羅茨真空泵由羅茨鼓風機演變而來，一般在低壓下使用，廣泛應用在石油、刀具、化工、冶金、醫(yī)療、食品等行業(yè)。早在1954年，國外就發(fā)明了羅茨真空泵。我國的羅茨泵也有三十幾年的歷史了。但相對于國外的羅茨泵，我國生產的羅茨泵普遍存在噪音大、可靠性差和故障率高等問題，其綜合性能不好。因為羅茨泵不能直排大氣，在真空領域應用時一般與前級真空泵串聯成真空機組來使用。比如羅茨泵-旋片式真空泵機組、羅茨泵-水環(huán)式真空泵機組、羅茨泵一滑閥式真空泵機組等。

旋片式真空泵是一種容積式真空泵，它是通過滑動的旋片和定子在轉子槽內轉動而改變容腔體積來實現抽真空的。真空技術中，旋片式真空泵是基本的真空獲取設備之一。旋片泵常作為其他真空泵的前級泵來使用，但旋片泵也可單獨用于對真空度要求不高的低真空環(huán)境。由于旋片泵價格低廉，構造簡單，空間占有面積小，因此被廣泛使用在石油、機械、冶金中。